一、工艺流程

材料准备：根据湿制程液体特性选择滤膜材质，如PTFE（耐强酸碱）、PES（低蛋白吸附）或尼龙（耐有机溶剂），搭配聚丙烯支撑层与密封件，确保耐化学性及结构强度。

滤膜成型：通过热熔或粘合工艺将滤膜与支撑层复合，采用折叠技术提升有效过滤面积，例如将滤膜折叠成波浪形并固定于骨架，使过滤面积较传统滤芯提升3-5倍。

组件装配：将折叠滤芯插入中心骨架，超声波焊接端盖与骨架，安装密封圈并测试密封性，确保无泄漏风险。

完整性检测：采用泡点法或扩散流法验证滤芯完整性，检测压力通常设定为0.2-0.4MPa，确保滤芯无孔隙缺陷。

包装与灭菌：采用双层包装（塑料袋+纸盒）防止运输污染，部分产品需通过121℃高温蒸汽灭菌，确保无菌交付。

二、技术要点

折叠结构设计：通过精密模具控制折叠角度与密度，确保滤芯在高压差下不变形，同时优化流体分布，降低局部堵塞风险。

化学兼容性优化：滤膜表面进行改性处理，如PTFE疏水膜通过等离子体处理提升亲水性，PES滤膜通过辐照交联提高耐温性。

接口密封技术：采用双O型圈或熔焊密封结构，耐压能力提升至0.5MPa以上，适配半导体设备的高压工作环境。

三、质量控制

原材料检验：滤膜需通过孔径分布测试（如使用PMI孔径仪），确保过滤精度符合0.1μm或0.22μm标准；支撑层需满足爆破压力≥1.5MPa要求。

过程监控：折叠工序中实时监测折叠高度误差（≤±0.5mm），焊接工序采用红外测温仪控制温度波动（≤±5℃）。

成品测试：进行完整性测试（泡点压力≥0.3MPa）、水通量测试（10英寸滤芯≥20L/min@0.02MPa）及细菌截留测试（对缺陷假单胞菌截留率≥99.9999%）。

四、发展趋势

高精度与高通量融合：开发多层复合滤膜（如微孔膜+超滤膜），在0.1μm精度下实现流量提升30%。

智能化制造：引入机器视觉检测折叠缺陷，利用MES系统实现全流程追溯，降低人工干预导致的品质波动。

环保材料应用：采用可降解聚乳酸（PLA）作为滤芯骨架，结合再生聚酯滤膜，满足绿色制造需求。